關(guān)于inficon真空計,你可能想了解這些內(nèi)容!
更新時間:2023-07-21
訪問次數(shù):446
什么是inficon真空計?真空的含義是指在給定的空間內(nèi)低于一個大氣壓力的氣體狀態(tài),是一種物理現(xiàn)象。在真空技術(shù)里,真空系針對大氣而言,一般指特定空間內(nèi)部之部份物質(zhì)被排出,使其壓力小于一個標(biāo)準(zhǔn)大氣壓,則我們通稱此空間為真空或真空狀態(tài)。真空常用帕斯卡(Pascal)托爾(Torr)毫巴(mbar)等做為壓力的單位。真空計(VacuumGauge,也稱真空表、真空規(guī)管,是測量真空度或低氣壓的儀器。一般是利用不同氣壓下氣體的某種物理效應(yīng)的變化進行氣壓的測量。在科研和工業(yè)生產(chǎn)中廣泛使用。
按照inficon真空計測量原理所利用的不同的物理機制,可將主要的真空計分為三大類,分別是利用力學(xué)性能、利用氣體動力學(xué)效應(yīng)利用帶電粒子效應(yīng)的真空計。利用力學(xué)性能的真空計典型的有波爾登規(guī)(Bourdon)和電容薄膜規(guī);利用氣體動力學(xué)效應(yīng)的典型真空計有皮拉尼(Pirani)電阻規(guī)和熱電偶規(guī)、熱傳導(dǎo)規(guī);利用帶電粒子效應(yīng)的典型真空計有熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī)。
壓力測量中,除少數(shù)直接測量外,絕大多數(shù)是間接測量。就是先在被測氣體中引起一定的物理現(xiàn)象,然后再測量這一過程中與壓力有關(guān)的物理量,進而設(shè)法確定壓力值。這是真空測量的特點,亦會造成某些問題。inficon真空計是測量低于一個大氣壓力的氣體或蒸氣壓力的儀器。是從真空計本身測得的物理量直接計算出(或得出)壓力的儀器。需經(jīng)過絕對真空計的校準(zhǔn)之后才能進行真空度的測量。任何具體物理現(xiàn)象與壓力的關(guān)系,都是在某一壓力范圍內(nèi)才顯著,超出這個范圍,關(guān)系變得弱了。因此,任何方法都有其一定的測量范圍,這個范圍就是真空計的“量程”。盡可能擴展每一種方法的量程,是真空科學(xué)研究的重要內(nèi)容之一。