Quorum

一、英國Quorum公司介紹

Quorum Technologies制造優(yōu)秀的科學(xué)儀器，用于電子顯微鏡（EM）樣品制備。嚴(yán)格的EM樣品制備是為客戶提供清晰圖像進(jìn)行分析的方法。Quorum Technologies 提供全系列高質(zhì)量儀器在冷凍 SEM、濺射鍍膜機(jī)、臨界點(diǎn)干燥儀和輝光放電等樣品制備技術(shù)。

Quorum Technologies成立于2001年，但其產(chǎn)品品牌的歷史可以追溯到更遠(yuǎn)的地方。最初的 Polaron Ltd 公司處于電子顯微鏡 （EM） 樣品制備，推出了掃描電子顯微鏡 （SEM） 濺射鍍膜，并在 1970 年代初推出了第一臺(tái) SEM 臨界點(diǎn)干燥機(jī)。 如今，Quorum Technologies 延續(xù)了這一優(yōu)良傳統(tǒng)，仍然是電子顯微鏡濺射鍍膜、臨界點(diǎn)干燥儀和冷凍 SEM 等樣品制備技術(shù)。

二、Quorum主要產(chǎn)品

1、 冷凍電鏡樣品制備系統(tǒng)（Cryo-SEM 樣品制備）

PP3010冷凍電鏡（Cryo-SEM）樣品制備系統(tǒng)是冷凍掃描電鏡技術(shù)，將高質(zhì)量的結(jié)果與優(yōu)秀的易用性相結(jié)合。PP3010 是一款高度自動(dòng)化、柱式、氣冷式冷凍 電鏡樣品制備和冷凍轉(zhuǎn)移系統(tǒng)，適用于大多數(shù)品牌和型號(hào)的 W-SEM、FE-SEM 和FIB/SEM。

冷凍電鏡 和 FIB/SEM 的冷凍樣品制備技術(shù)對于觀察生物樣品、液體濕樣品或光束敏感樣本至關(guān)重要。使用冷凍電子顯微鏡消不需要采用化學(xué)法固定和臨界點(diǎn)干等燥傳統(tǒng)樣品制備方法，能夠觀察天然水合狀態(tài)的樣本。

Quorum還提供PP3005 SEMCool和PP3006 CoolLok - 用于低溫應(yīng)用的部分低溫樣品制備系統(tǒng)，在這些應(yīng)用中不需要PP3010的全套樣品處理能力。

1-1. PP3010—冷凍電鏡（Cryo-SEM）和束掃描電子顯微鏡FIB-SEM的樣品制備系統(tǒng)

PP3010 是一款高度自動(dòng)化、易于使用、柱式氣體冷凍制備系統(tǒng)，適用于大多數(shù)品牌和型號(hào)的 SEM、FE-SEM 和FIB/SEM。。

PP3010具有快速冷凍、樣品處理和轉(zhuǎn)移所需的全部設(shè)施。低溫樣品制備室是采用渦輪分子泵，包含用于冷壓裂、可控的自動(dòng)升華和濺射鍍膜的工具。樣品處理后，將樣品從冷凍制備室轉(zhuǎn)移到高度穩(wěn)定的SEM冷臺(tái)上進(jìn)行觀察。用于冷凍制備室和 SEM 室中的冷阱確保整個(gè)樣品制備過程無霜。

PP3010冷凍電鏡樣品制備系統(tǒng)的主要特點(diǎn)

w  SEM, FE-SEM and FIB/SEMs的高分辨率性能

w  氣體冷卻，包括冷凍制備室 - SEM 上無沸氮

w  高效冷卻（min -190oC）

w  一次填充 LN24 的運(yùn)行時(shí)間24小時(shí)以- 允許無人值守的夜間運(yùn)行（在典型工作溫度下）

w  大驅(qū)動(dòng)的觸摸屏界面

w  自動(dòng)升華、涂覆和系統(tǒng)啟動(dòng)

w  優(yōu)秀的標(biāo)本可視性

w  兼容高達(dá) 5kV 的 SEM 光束減速/級(jí)偏置模式

w  柱外冷卻和泵送系統(tǒng) – SEM 上的最小質(zhì)量

w  屏幕數(shù)據(jù)記錄和診斷

w  低溫傳輸裝置的抽水儲(chǔ)存

w  Prepdek 工作站 – 獨(dú)立的工作區(qū)，無需額外的工作臺(tái)空間

w  冷凍工作流程選項(xiàng)

1-2. PP3006 coollock用于SEM 和FIB/SEM 的冷凍轉(zhuǎn)移系統(tǒng)

PP3006 CoolLok 可對 SEM、FIB/SEM、光束線或其他真空系統(tǒng)的試樣進(jìn)行快速轉(zhuǎn)移和低溫溫度觀察。應(yīng)用包括光束敏感試樣的熱保護(hù)和塑料、聚合物低介電介質(zhì)和軟硬混合物等材料的低溫觀察。該系統(tǒng)還可用于從手套箱中輸送環(huán)境溫度試樣的惰性氣體。

1-3  PP3005 SEMCool用于 SEM and FIB/SEM的非氣閘冷卻系統(tǒng)

SEMCool基于PP3006 CoolLok，但沒有PP3004 QuickLok組件。它專為不需要將樣品氣閘交換到顯微鏡中的低溫應(yīng)用而設(shè)計(jì)。PP3005 僅推薦用于預(yù)計(jì)不頻繁更換試樣的應(yīng)用。為了獲得更大的試樣通量，將氣閘插入SEM 或 FIB/SEM 是必不可少的

1-4 Coolstage – Peltier冷卻的SEM 工作臺(tái)

冷卻臺(tái)是帕爾貼驅(qū)動(dòng)的冷卻臺(tái)，用于掃描電子顯微鏡 （SEM）、低真空 （LV） 或變壓 （VP） 應(yīng)用。有三種型號(hào)可供選擇，以滿足不同的用戶要求。

2. 濺射鍍膜機(jī)和 SEM/TEM 碳鍍膜機(jī)

2-1miniQS -入門級(jí)用于鍍膜/涂布機(jī)

MiniQS非常適合預(yù)算不高的用戶，他也需要在易于使用的儀器中獲得可重復(fù)的結(jié)果。MiniQS使用磁控濺射頭，帶有易于更換的圓盤靶

2-2 Q plus 系列-全系列濺射鍍膜機(jī)-用于電子顯微鏡和薄膜

Q Plus系列是Quorum的濺射和碳鍍膜機(jī)系列的新版本。越來越多地用于高分辨率顯微鏡，其中超細(xì)涂層是必須的。

濺射鍍膜是在掃描電子顯微鏡（SEM）觀察之前制備非導(dǎo)電或?qū)щ娦圆畹脑嚇拥臉?biāo)準(zhǔn)方法。Quorum提供低成本的旋轉(zhuǎn)泵送濺射鍍膜機(jī)，用于沉積非氧化性金屬（如金（Au）和鉑（Pt））和渦輪分子泵送鍍膜機(jī)，適用于氧化性和非氧化性金屬，如鉻（Cr）。

為了提供改進(jìn)的超細(xì)涂層，Quorum推出了新的Q150V Plus，它提供1 x 10-6 mbar的極限真空，以獲得效果。

大型腔室濺射鍍膜機(jī)可用于直徑達(dá) 200 mm 的試樣。大多數(shù)Quorum 涂布機(jī)也可以使用易于更換的碳棒和碳纖維插件進(jìn)行碳蒸發(fā)配置。

型號(hào)有Q 150R Plus, Q 150T Plus, Q 150V Plus, Q300T Plus, Q 300 TD Plus。

Q150V Plus 適用于高真空應(yīng)用。這款新產(chǎn)品為用戶提供了為超高分辨率應(yīng)用（高于x 200k放大倍率）生產(chǎn)更細(xì)晶粒尺寸和更薄涂層的能力。

Q150T Plus 鍍膜機(jī)適用于 SEM、TEM 和許多薄膜應(yīng)用。它有三種形式：作為濺射鍍膜機(jī)、碳鍍膜機(jī)或在一個(gè)緊湊的系統(tǒng)中同時(shí)濺射和碳蒸發(fā)。

Q150R Plus 鍍膜機(jī)適用于使用非氧化金屬的 W-SEM 濺射應(yīng)用以及用于 EDS 和 WDS 的碳涂層 SEM 試樣。對于較大的試樣，Q300T T Plus（渦輪分子泵送）型號(hào)允許涂覆max 8“/200 mm 的單個(gè)大直徑試樣（例如晶圓），或多個(gè)直徑相似的較小試樣。兩者都具有三重濺射頭，以確保均勻的鍍膜沉積。對于薄膜應(yīng)用，Q300T D Plus 雙目標(biāo)順序?yàn)R射鍍膜機(jī)允許連續(xù)濺射金屬層，而無需打破真空。

Q150 GB 是 Q150T ES 涂布機(jī)的模塊化版本，設(shè)計(jì)用于集成到手套箱中。

SC7620是該系列的完善，這是一款緊湊的入門級(jí)SEM濺射鍍膜機(jī)，可與可選的碳纖維蒸發(fā)附件一起使用。

3. GloQube? Plus-用于透射電鏡和表面改性的輝光放電系統(tǒng)

GloQube? Plus是一種經(jīng)濟(jì)高效，緊湊且易于使用的輝光放電系統(tǒng)，旨在滿足TEM實(shí)驗(yàn)室的需求。GloQube? Plus的主要應(yīng)用是修改TEM網(wǎng)格的表面，以滿足成像各種大分子的要求。兩個(gè)腔室集成在一個(gè)系統(tǒng)中，使用戶能夠靈活地選擇他們想要使用的樣品制備技術(shù)：空氣中或化學(xué)蒸氣中的輝光放電，無需停機(jī)清潔或樣品污染和損失的風(fēng)險(xiǎn)。

化學(xué)蒸氣輝光放電不僅有助于將分子保留在TEM網(wǎng)格上，而且還允許用戶控制方向和構(gòu)象。通過自動(dòng)蒸汽控制，該系統(tǒng)可確保等離子體中化學(xué)蒸汽的準(zhǔn)確濃度，從而產(chǎn)生可靠且可重復(fù)的結(jié)果。兩個(gè)腔室設(shè)計(jì)成一個(gè)易于使用的包裝，為工作流程空間提供了更小的占地面積，并且腔室之間沒有交叉污染。

MiniQ GD 是2023年推出的易于使用的輝光放電系統(tǒng)，用于TEM 網(wǎng)格的表面修飾。

4. 臨界點(diǎn)干燥儀

Quorum制造了一系列臨界點(diǎn)干燥儀，以滿足電子顯微鏡（EM）和其他應(yīng)用的需求。臨界點(diǎn)干燥是在掃描電子顯微鏡（SEM）檢查之前對生物組織進(jìn)行脫水的既定方法。

臨界點(diǎn)干燥儀的型號(hào)：E3100 ， K850， K850WM 臨界點(diǎn)干燥儀

廣受歡迎的 K850 集多功能性和易操作性于一身。內(nèi)置熱電加熱和絕熱冷卻可實(shí)現(xiàn)精確的溫度控制。垂直壓力室（直徑 32 mm x 高 47 mm）具有側(cè)面觀察口，可在加工過程中清晰地看到液體彎月面。磁力攪拌器可確保工藝流體的最佳混合和交換。

E3100 大型臨界點(diǎn)干燥機(jī)，E 3100 具有水平安裝的壓力室，內(nèi)徑為 63.5 mm x 長度為 82 mm。腔室有一個(gè)用于溫度控制的外部水套，并通過可拆卸的后門引入試樣。前腔裝有直徑為 25 mm 的大窗口，可以清楚地看到液位。

K850WM 是緊湊的臺(tái)式儀器，設(shè)計(jì)用于對完整的 6“/150 mm 晶圓進(jìn)行臨界干燥。方便的晶圓支架可實(shí)現(xiàn)快速轉(zhuǎn)移，并確保不會(huì)發(fā)生預(yù)干燥

E4800 循環(huán)加熱器/冷卻器用于各種開環(huán)和閉環(huán)溫度控制應(yīng)用。E4860 是 E3100 和K850MW 臨界點(diǎn)干燥機(jī)的選件。對于僅需要加熱的應(yīng)用，建議使用 E3500 熱循環(huán)器。

Qdru 是quorum 在2023年推出的新的自動(dòng)化臨界點(diǎn)干燥儀

5. 耗材，靶材，載物臺(tái)等附件

Quorum提供了一系列消耗品和備件。

濺射靶材：Quorum為我們當(dāng)前的Q系列（S和ES版本）和SC7620濺射鍍膜機(jī)以及以前使用Emscope，Emitech，Polaron，Bio-Rad，Fisons Instruments和Thermo VG品牌制造的型號(hào)提供金屬濺射靶材。包括E7400-314A Target

Gold 0.2 mm, E7400-31C TargetPlatinum 0.2 mm, E7400-314IR TargetIridium 0.3 mm, SC500-314A TargetGold 60 mm x 0.1 mm thick, SC500-314E TargetSilver 60 mm x 0.1 mm thick, SC502-314A TargetGold 57 mm x 0.1 mm, 更多濺射靶點(diǎn)請咨詢。

碳耗材：碳棒和碳纖維供應(yīng)品有多種尺寸和純度可供選擇，通常用于將碳蒸發(fā)到樣品上，用于 X 射線微量分析或透射電子顯微鏡 （TEM）分析。

三、Quorum 產(chǎn)品客戶

Quorum 客戶包括顯微鏡制造商，大學(xué)研究所及公司等，其中顯微鏡制造商包括zeiss, thermo fisher, Hitachi, Tescan等。